Предложив в конце прошлого десятилетия импульсный вариант пушки, ученые решили проблему нагрева. В этом случае часть ионов металла удается направить обратно на катод так, чтобы ими (вместо ионов аргона) выбивать дополнительные атомы металла. Количество благородного газа в плазме уменьшается, а качество покрытия повышается.
В новом варианте ионной пушки от инертного газа и вовсе удалось избавиться. Напыление идет в глубоком вакууме при самоподдерживающемся процессе выбивания атомов металла из катода. При этом ток на мишень оказывается заметно больше тока разряда, что ведет к уменьшению нагрева. Отсутствие газа исключает образование дефектов в покрытии и способствует более глубокому проникновению ионов металла в обрабатываемый чип. Качество проводников повышается, а вместе с этим снижается и процент брака.
оскольку инертный газ больше не нужен, ионную пушку можно использовать для напыления даже в космосе. В экспериментах удалось получить рекордное значение тока ионов меди на мишень - 250 ампер, что гораздо больше предельных возможностей других методов. К сожалению, сложный самоподдерживающийся процесс образования ионов в новой пушке сильно зависит от свойств используемого металла. И теперь в планах ученых - адаптировать новый способ для ниобия, сверхпроводящие покрытия из которого заманчиво использовать в ускорителях элементарных частиц. ГА
МИКРОФИШКИ: Микрофишки
Уже во второй раз компания HP объявляет открытый конкурс инновационных исследований, в ходе которого команды со всего света будут претендовать на щедрые гранты для реализации своих проектов. За победу поборются научные группы из университетов и НИИ, способные предложить нечто новое по пятнадцати темам, названным организаторами. Среди них: облачные